Micro-VU Excel 1650|200|250系列测量仪
技术参数
| 型号 |
Excel1651UM/UC |
Excel1652UM/UC |
Excel200U |
Excel250U |
| 量测行程 |
1250x1650x160mm |
1250x1650x250mm |
2000x1250x200mm |
2500x1600x200mm |
| 外形尺寸 |
1886x2600x1650mm |
1886x2600x1850mm |
1886x3084x1737mm |
2252x3794x1737mm |
| 重量 |
3,600kg |
3,650kg |
3,740kg |
6,800kg |
| 承载重量 |
100kg |
| 平臺材质 |
钢构 |
| 平臺设计 |
龙门式 |
| 基座材质 |
花岗岩 |
| XY 精度 |
4.0+L/300μm |
4.05+L/300μm |
[5.5+L(mm)/300]μm |
[5.5+L(mm)/300]μm |
| Z 精度 |
2.8+L/150μm |
3.0+L/150μm |
3.0+L/150μm |
3.0+L/150μm |
| 加速度 |
1000mm/s2(XY), 500mm/s2(Z) |
| 速度 |
500mm/s(XY), 500mm/s(Z) |
| 光学尺解析度 |
0.1μm |
| 影像 |
高解析度彩色或黑白系统 |
| 表面光, 轮廓光,同轴光光源 |
红光LED (黑白系统白光)
LED(彩色系统) |
| 光学系统/放大倍率 |
12:1光学 Zoom/15x-180x or 30x-360x放大倍率 |
| 软体 |
InSpec Metrology Software |
| 电控系统 |
伺服系统: CNC, 滑鼠, 摇杆 |
| 工作环境 |
20℃±2°,30-80% 湿度 |
| 电源系统 |
93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp |
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