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美国Micro-VU Vertex系列测量仪
SKU: Vertex
型号
Vertex251HM/HC
Vertex251UM/UC
Vertex311HM/HC
Vertex311UM/UC
XY 精度
Uxy=2.0+L/200
Uxy=1.8+L/200
Uxy=2.6+L/200
Uxy=2.0+L/200
Z 精度
Uz=2.0+L/150
Uz=2.0+L/150
Uz=2.0+L/150
Uz=2.0+L/150
XY 重现性
2.0μm
1.8μm
2.6μm
2.0μm
Z 重现性
2.0μm
2.0μm
2.0μm
2.0μm
XY 加速度
500mm/S2
Z 加速度
200mm/S2
XY 移动速度
250mm/s
Z 移动速度
100mm/s
光学尺分辨率
0.1μm
量测行程
250x160x160mm
315x315x160mm
外形尺寸
606x800x775mm
720x1085x1030mm
重量
120kg
150kg
承载重量
10kg
12kg
基座材质
铝合金
传动方式
Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z
电控系统
伺服系统: CNC, 鼠标,摇杆
光学系统&放大倍率
6.5:1光學Zoom,20-390x
12:1光學Zoom,15-540x
6.5:1光學Zoom,20-390x
12:1光學Zoom,15-540x
影像&光源
红光LED (黑白系统)或白光 LED(彩色系统)
软件
InSpec for Windows Metrology Software
工作环境
20℃±2°,30-80% 湿度
备注
Vertex311系列可选择加高型,Z轴250mm
注意事项:
仪器成套性与可选购件可参考产品原页面,本页只提供仪器核心技术参数。
产品价格均含有商品运费(大陆地区除外)及发票的价格但是
不包含
工程师上门培训及调试的费用。
科信不保证网站展示产品的时效性,部分仪器可能已升级,保留最终解释权。
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