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双探头表面三维形貌分析系统

SKU: FM-DP-3D

技术参数:

 

探头A

探头B

工作距离

11mm

19mm

量程

±190um

±1700um

最大倾角

±28°

±21°

光斑尺寸

10um

20um

分辨率

10nm

40nm

精度

±0.02%F.S.

±0.02%F.S.

最小厚度测量

12um

66um

最大厚度测量

511um

5098um

电动台参数:

XY平台

驱动

直线磁轴电机

平台大小

220X230mm

XY方向行程

100X100mm

分辨率

0.05μm

重复定位精度

<1μm

最大允许负重

2Kg

扫描速度

≤80mm/s

扫描间距

≥0.5μm

电气特性

控制器(专用电脑)额定输入

100-240V AC 5.3A 50/60Hz

驱动器(专用机箱)额定输入

48V DC 2.1A

传感器输入

24V DC 3A

注意事项:
仪器成套性与可选购件可参考产品原页面,本页只提供仪器核心技术参数。
产品价格均含有商品运费(大陆地区除外)及发票的价格但是不包含工程师上门培训及调试的费用。
科信不保证网站展示产品的时效性,部分仪器可能已升级,保留最终解释权。
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