美国Micro-VU Vertex系列测量仪
技术参数
| 型号 |
Vertex251HM/HC |
Vertex251UM/UC |
Vertex311HM/HC |
Vertex311UM/UC |
| XY 精度 |
Uxy=2.0+L/200 |
Uxy=1.8+L/200 |
Uxy=2.6+L/200 |
Uxy=2.0+L/200 |
| Z 精度 |
Uz=2.0+L/150 |
Uz=2.0+L/150 |
Uz=2.0+L/150 |
Uz=2.0+L/150 |
| XY 重现性 |
2.0μm |
1.8μm |
2.6μm |
2.0μm |
| Z 重现性 |
2.0μm |
2.0μm |
2.0μm |
2.0μm |
| XY 加速度 |
500mm/S2 |
| Z 加速度 |
200mm/S2 |
| XY 移动速度 |
250mm/s |
| Z 移动速度 |
100mm/s |
| 光学尺分辨率 |
0.1μm |
| 量测行程 |
250x160x160mm |
315x315x160mm |
| 外形尺寸 |
606x800x775mm |
720x1085x1030mm |
| 重量 |
120kg |
150kg |
| 承载重量 |
10kg |
12kg |
| 基座材质 |
铝合金 |
| 传动方式 |
Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z |
| 电控系统 |
伺服系统: CNC, 鼠标,摇杆 |
| 光学系统&放大倍率 |
6.5:1光學Zoom,20-390x |
12:1光學Zoom,15-540x |
6.5:1光學Zoom,20-390x |
12:1光學Zoom,15-540x |
| 影像&光源 |
红光LED (黑白系统)或白光 LED(彩色系统) |
| 软件 |
InSpec for Windows Metrology Software |
| 工作环境 |
20℃±2°,30-80% 湿度 |
| 备注 |
Vertex311系列可选择加高型,Z轴250mm |
|
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