美国Micro-VU Excel 660系列影像测量仪
技术参数
| 型号 |
Excel661UM |
Excel661UC |
Excel662UM |
Excel662UC |
Excel664UM |
Excel664UC |
| 测量行程 |
650x650x160mm |
650x650x250mm |
650x650x400mm |
| 外形尺寸 |
1311x1604x1608mm |
1311x1604x1788mm |
1311x1604x2088mm |
| 重量 |
1530kg |
1550kg |
1550kg |
| 承载重量 |
100kg |
100kg |
100kg |
| 平台材质 |
钢构 |
| 基座材质 |
花岗岩 |
| 传动方式 |
Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z |
| 电控系统 |
伺服系统: CNC, 鼠标, 摇杆 |
| 电源系统 |
93-264 VAC, 47-63 Hz,最大10 Amp |
| XY 精度 |
Uxy=2.5+L/300μm |
Uxy=2.8+L/300μm |
Uxy=3.2+L/300μm |
| Z 精度 |
Ux=2.5+L/150μm |
Ux=3.0+L/150μm |
Ux=3.5+L/150μm |
| XY 重现性 |
2.5μm |
2.8μm |
3.2μm |
| Z 重现性 |
2.5μm |
3.0μm |
3.5μm |
| XY 加速度 |
1000mm/S2 |
| Z 加速度 |
500mm/S2 |
| XY 移动速度 |
500mm/s |
| Z 移动速度 |
150mm/s |
| 光学尺分辨率 |
0.1μm |
| 影像 |
黑白 |
彩色 |
黑白 |
彩色 |
黑白 |
彩色 |
| 光源 |
红光LED |
白光LED |
红光LED |
白光LED |
红光LED |
白光LED |
| 照明系统 |
表面光, 轮廓光,同轴光 |
| 光学系统/放大倍率 |
12x 光学/3x 数字 Zoom / 15x~1200x 放大倍率 |
| 软件 |
InSpec for Windows Metrology Software(2000/XP/Vista) |
| 工作环境 |
20℃(68℉)±2°,30-80%湿度 |
|