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镜面外观缺陷检测系统

SKU: FM-DVM

产品介绍

产品简介:

   晶圆、基片及精密光学元件表面缺陷自动筛查和量测

检测对象:

    晶圆片、盖板、基片、精密光学元件(平晶,棱镜,玻片等)

面向行业:

  半导体晶圆生产、3C盖板及光学基片、光学抛光加工

 

技术参数

 技术参数:

Ø  缺陷最大检测口径300X200mm (覆盖8寸晶圆,可订制12寸晶圆机台)

Ø  缺陷检测分辨率最高0.5um

Ø  缺陷检测类型: 麻点、划痕、纹理、异色、破边等

Ø  自动缺陷识别及尺寸量测

Ø  手动上下片,支持半自动和自动上下片的开发

Ø   技术特点

Ø  采用多模式成像确保各种不同类型的缺陷能够被检测

Ø  可以按照20/1040/2060/40标准对缺陷进行量测判定

Ø  软硬件可以按照实际样品检测需求进行订制

可附带增加检测基片三维翘曲功能

◆ 测量实例

麻点和划痕.jpg

       麻点和划痕                      表面纹理


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