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双探头表面三维形貌分析系统

SKU: FM-DP-3D

产品介绍

产品介绍:

  采用彩色激光共焦技术,可实现对材料表面微米、次微米级粗糙度检测,并且可以进行2D轮廓/3D微观形貌扫描分析,具有测量精度高,速度快,重复性好的优点。

    该系统可用于测量大尺寸样品,软件功能含括了点测量、线测量、面测量等强大的功能,可选模块包括2D&3D粗糙度检测与分析、2D轮廓测量与3D形貌分析、平面度检测、共面度检测、平行度检测等。

本系统特点:

一、采用传动装置:直线磁轴电机驱动

二、专业集成设计

三、丰富的三维计测

四、多样的三维观察

 

技术参数

技术参数:

 

探头A

探头B

工作距离

11mm

19mm

量程

±190um

±1700um

最大倾角

±28°

±21°

光斑尺寸

10um

20um

分辨率

10nm

40nm

精度

±0.02%F.S.

±0.02%F.S.

最小厚度测量

12um

66um

最大厚度测量

511um

5098um

电动台参数:

XY平台

驱动

直线磁轴电机

平台大小

220X230mm

XY方向行程

100X100mm

分辨率

0.05μm

重复定位精度

<1μm

最大允许负重

2Kg

扫描速度

≤80mm/s

扫描间距

≥0.5μm

电气特性

控制器(专用电脑)额定输入

100-240V AC 5.3A 50/60Hz

驱动器(专用机箱)额定输入

48V DC 2.1A

传感器输入

24V DC 3A


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